日本ULVAC爱发科Model:LR60多级罗茨型干泵 北崎热卖
多级罗茨型干泵Model:LR
通过低温区域的泵体均热化，在PVD工艺之外，尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。
低温区域均热化（Model:LR） 氦气密封 瞬停对策 *的耐腐蚀性 通信功能特点
在PVD工艺之外，尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。
通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。
采取了1000msec以内瞬停对策。
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。
可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。
成膜装置（溅射装置/蒸镀装置等） 缩短备料下料室的排气时间 作为辅助排气泵（涡轮分子泵、机械增压泵的辅助排气）用途
*1 请订购时。 *1 LR300、LR600、LR1200、LR1800可选是否进行MBP表面处理。 ■消音器 (选项) LR60 LR90 LR180 LR421-T LR300 / LR600 LR1200 LR1800 LR3601(-R / -TR / -TTR) LR3601(-T / -TT)规格
型号 LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T *
排气速度50Hz 62 m3/h
(1030 L/min)112 m3/h
(1860 L/min)183 m3/h
(3100 L/min)440 m3/h
(7333 L/min)440 m3/h
(7333 L/min)60Hz 80 m3/h
(1333 L/min)126 m3/h
(2100 L/min)237 m3/h
(3950 L/min)到达压力 5.0 Pa *排气压力 （吸入圧力） 大气压 *排气口压力
（排出圧力）1~ 大气压 Pa 吸气口 (CE规格) VG50(KF50) VG80(KF50) VG100 排气口 KF40 VG50 质量 180 kg 245 kg 335 kg 415 kg 电源 *1 三相 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) 180~240 VAC/
380~440 VAC(50/60 Hz)电流值 稳定时 6.9 A
(at 200V)11.2 A
(at 200V)18.9 A
(at 200V)20.8 A
(at 200V)*值 7.3 A
(at 200V)11.8 A
(at 200V)20.6 A
(at 200V)48.5 A
(at 200V)冷却水一次压力 0.1~0.3 MPa 0.2~0.5 MPa 冷却水出入口压差 >0.1 MPa >0.2 MPa 冷却水流量 >5.0 L/min >4.0 L/min 吹扫气 一次压力 0.1~0.5 MPa 二次压力 0.05~0.1 MPa 氮气吹扫 轴 5 SLM 气镇 0~45 SLM 没有 0~45 SLM 型号 LR300 LR600 LR1200 LR1800 LR3601 LR3601-T
(TT)LR3601-R LR3601-TR
(TTR)使用泵 干式
真空泵LR60 LR90 LR90 LR180 LR421 LR421-T LR421 LR421-T 机械
增压泵PRC-03A PRC-06A PRC-012A PRC-018A PRC-036C PRC-036C
(-T)PRC-036D PRC-036D
(D-T)*
排气
速度50Hz 359 m3/h
(5,980
L/min)653 m3/h
(10,900
L/min)1,012 m3/h
(16,900
L/min)1,701 m3/h
(28,350
L/min)3,200 m3/h(53,333 L/min) 60Hz 365 m3/h
(6,080
L/min)701 m3/h
(11,700
L/min)1,051 m3/h
(17,500
L/min)1,784 m3/h
(29,700
L/min)到达压力 0.67 Pa *排气压力
（吸入圧力）大气压 *排气口压力
（排出圧力）1~ 大气压 Pa 吸气口 (CE规格) VG80
(KF80)VG100
(KF100)VG150
(KF100)VG150 排气口 KF40 KF50 MBP表面处理 〇 *1 〇 *1 〇 *1 〇 *1 × T:×
TT:×× TR:×
TTR:〇质量 275 kg 370 kg 420 kg 545 kg 660 kg 720 kg 660 kg 720 kg 电源
*2三相 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) 180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz) 电流值 稳定时 7.0 A
(at 200V)12.3 A
(at 200V)13.7 A
(at 200V)21.4 A
(at 200V)31.0 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)35.4 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)*值 9.6 A
(at 200V)19.0 A
(at 200V)24.2 A
(at 200V)39.8 A
(at 200V)58.4 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)82.0 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)冷却水
一次压力0.1~0.3 MPa 0.2~0.5 MPa 冷却水
出入口压差>0.1 MPa 0.1~0.3 MPa 0.2~0.5 MPa 冷却水流量 >5.0 L/min >4.0 L/min 吹扫气 一次
压力0.1~0.5 MPa 二次
压力0.05~0.1 MPa N2
吹扫轴 5 SLM 气镇 0~45 SLM 没有 *3 0~45 SLM 没有 *3 0~45 SLM
*2 请订购时。
*3 根据用途，使用气镇的规格也可报价。配饰
型号 材質 表面处理 重量
(kg)法兰
接口LR
300LR
600LR
1200LR
1800L&
3601LR
60LR
90LR
180LR
421LR
421-TRS-01 +
kitASUS
304GBB处理 4.1
kgKF40 〇 - - - - 〇 〇 - - - RS-01 +
kitBKF40 - 〇 〇 - - - - - - - RS-02 +
kitA8.3
kgKF40 〇 - - - - - - 〇 - - RS-02 +
kitBKF40 - 〇 〇 〇 - - - - - - RS-03 +
kitA磨板 12.5
kgKF50 - - - - - - - - 〇 〇 RS-03 +
kitB- - - - 〇 - - - - - 排气速度曲线
