半导体腔体真空监测 ULVAC 爱发科 G TRAN SW100 真空计应用

真空镀膜、电子显微镜、实验室真空干燥设备，都需要稳定的前级真空获得设备。日本 ULVAC 爱发科 GLD-N051 直联油旋片真空泵，是真空行业经典的小型前级泵，国内高校实验室、小型镀膜厂商大量使用。

✅ GLD-N051 产品核心优势

1. 直联驱动结构，振动低、运行噪音小，适合放置在实验室、洁净设备旁；

2. 内置防返油结构，停机后防止泵油返流污染真空腔体，保护镀膜与样品；

3. 标配气镇阀，可抽除含水蒸气的气体，适合真空干燥、冷冻干燥工况；

4. 大可视油位窗口，方便随时观察泵油状态，运维简单；

5. 极限真空度高，可作为分子泵、扩散泵的前级抽气泵。

📌关键参数

抽速：60L/min（50Hz）

极限真空：0.67Pa（气镇阀关闭）；6.7Pa（气镇阀开启）

电机功率：200W

泵油：ULVOIL R-7

重量：12.5kg

📋典型应用场景

小型真空蒸镀、溅射镀膜设备前级泵；实验室真空干燥、冷冻干燥；电子显微镜前级真空；激光设备、分析仪器真空系统；空调、制冷管路抽真空。

⚠️选型 & 维护注意事项

1. 不能抽强腐蚀、可凝性大量化学气体，腐蚀性气体会快速破坏泵油、腐蚀旋片；

2. 定期更换真空泵油，油氧化污染会直接导致极限真空下降；

3. 长时间停机前，建议开启气镇阀空载运行一段时间，排出泵内可凝水汽；

4. 进气口建议加装滤网，防止固体粉尘进入泵体磨损旋片；

5. 环境温度控制在 7~40℃，高温环境会缩短泵油使用时间。

选型对比

洁净无油工况选用 LS 系列干泵；仅需要低真空小型实验，可选用 DA 隔膜干泵。