平面度

基片具有的宏观回凸高度相对理想平面的偏差
收藏
0有用+1
0
平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差 [1]。平面度是限制实际平面对其理想平面变动量的一项指标,用来控制被测实际平面的形状误差 [2]
中文名
平面度 [3]
平面度测量
被测实际表面对其理想平面变动量 [3]
测量方法
平晶干涉法、打表测量法、液平面法、光束平面法 [4]

概念

播报
编辑
平面度测量是指被测实际表面对其理想平面的变动量 [3]
平面度
平面度误差是将被测实际表面与理想平面进行比较,两者之间的线值距离即为平面度误差 [3]

测量方法

播报
编辑
平面度误差测量的常用方法有以下几种 [4]
①平晶干涉法。用光学平晶的工作面体现理想平面,直接以干涉条纹的弯曲程度确定被测表面的平面度误差值。这种方法主要用于测量小平面,如量规的工作面和千分尺测头测量面的平面度误差 [4]
②打表测量法。打表测量法是将被测零件和测微计放在标准平板上,以标准平板作为测量基准面,用测微计沿实际表面逐点或沿几条直线方向进行测量 [4]
③液平面法。液平面法是用液平面作为测量基准面,液平面由“连通罐”内的液面构成,然后用传感器进行测量。此法主要用于测量大平面的平面度误差 [4]
④光束平面法。光束平面法是采用准值望远镜和瞄准靶镜进行测量,选择实际表面上相距最远的三个点形成的光束平面作为平面度误差的测量基准面 [4]
激光平面度测量仪。激光平面度测量仪用于测量大型平面的平面度误差 [4]

区别

播报
编辑
面轮廓度和平面度、圆柱度虽同属于形状误差,但面轮廓度的理想轮廓面的位置是给定了的,而平面度和圆柱度中的理想平面和理想圆柱面的位置并未事先给定,所以它们的公差带位置是有区别的 [5]

评定方法

播报
编辑
平面度误差的评定方法有三远点法、对角线法、最小二乘法和最小区域法等四种,打表测量法按评定基准面分为三点法和对角线法 [6]
1、三远点法:用实际被测表面上相距最远的三个点建立的平面作为评定基准,然后在被测表面上均匀线布点,以各测点对此评定基准的偏离值中的最大偏离值与最小偏离值之差作为平面度误差值。测点在三远点平面上方时,偏离值为正值:测点在三远点平面下方时,偏离值为负值 [7]
2、对角线法:用通过实际被测表面的一条对角线且用平行于另一条对角线的平面作为评定基准,在被测表面上均匀画线布点。以各测点对此评定基准的偏离值中的量大偏离值与最小偏离值之差作为平面度误差值。测点在对角线平面上方时,偏离值为正值;测点在对角线平面下方时偏离值为负值 [7]
3、最小二乘法:以实际被测表面的最小二乘平面作为评定基准面,以平行于最小二乘平面,且具有最小距离的两包容平面间的距离作为平面度误差值。最小二乘平面是使实际被测表面上各点与该平面的距离的平方和为最小的平面。此法计算较为复杂,一般均需计算机处理 [7]
4、最小区域法:由两平行平面包容提取表面时,至少有三点或四点与之接触,有下列形式之一者表示被测提取要素已为最小区域所包笔 [7]

数据处理

播报
编辑
测量基准位量不同
用水平仪或自准直仪测量平面度时,需要将各测点位置的仅器读数值转换到相对于同的测量基准的数据 [8]
理想要素与量基准方向不一致
由于被测面的理想平面与测量基准方向不一致,为求得平面度误差,就需要作数据处理,具体方法如下所述 [8]
座标变换法:与求直线度误差的方法相类似,根据测得的相对统一测量基准的数据,进行适当的座标变换,使新的数据成为相对于理想平面的数据。座标变换法的实质是在测得数据上加一对应的等差数列 [8]