二、核心标准技术参数

1. 真空适用区间：常压 10⁵Pa ~ 高真空 10⁻⁶Pa

2. 泄漏指标（双重密封）阀座内部泄漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s传动轴轴封外泄漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，高纯工艺无气体渗漏污染

3. 介质接触面材质：镜面电解抛光 SUS304 不锈钢，低放气、低颗粒析出

4. 标准密封件：氟橡胶 O 型圈；可选 Kalrez 全氟醚密封，耐 200℃高温工艺

5. 阀体耐受温度：* 150℃

6. 驱动系统：一体式伺服直驱电机，无减速齿轮零背隙，开度重复定位精度≤0.05°

7. 控制信号：0~10V / 4~20mA 标准工业模拟信号，0~* 开度线性流量调节

8. 安全配置：内置电磁抱闸，断电瞬间锁死阀位，全密封隔绝腔体与真空泵

9. 运行特性：静音启闭调节，无冲击振动，不干扰电子束、等离子精密设备

三、六大核心产品优势

1. 闸板式无摩擦低尘流道，满足半导体 Class1 洁净标准

摒弃蝶阀金属滑动摩擦结构，阀内无外露金属啮合副；阀体内部无死角、镜面抛光处理，运行产尘量远低于 BAR 蝶阀，杜绝晶圆针孔、电路短路等工艺不良，适配无尘车间严苛颗粒管控要求。

2. 微小开度线性稳压，调压精度远蝶阀

闸板式气流通道线性度优异，0~10% 极小开度下抽气 / 载气流量无震荡，可稳定维持 mTorr 级高精度工艺真空，适配刻蚀、薄膜沉积梯度压力精密制程。

3. 标配断电自锁电磁抱闸，产线安全防护刚需

突发断电、设备故障时，内置电磁刹车立即锁死闸板，阀门完全密封隔离腔体，防止大气倒灌氧化晶圆、破坏真空工艺，大幅降低自动化产线工件报废损失（BAR 蝶阀抱闸需额外选配）。

4. 低双重密封泄漏，适配高纯腐蚀工艺

内外双重密封泄漏指标达 1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，优于 BAR 系列 10 倍，可适配特种腐蚀性工艺气体，无介质渗漏、无腔体交叉污染。

5. 全规格法兰全覆盖，兼顾研发与量产场景

四大法兰体系、25A~400A 全口径可选：KF 快拆法兰适配实验室频繁拆装；JIS 法兰为半导体标准设备标配；ISO 大法兰适配大型面板产线；CF 刀口法兰适配无油高真空腔体。

6. 一体化伺服直驱，免维护易集成

电机直连闸板无中间传动齿轮，零背隙定位无偏差；统一标准化接线，兼容 PLC、真空控制器，全自动产线快速集成，长期运行无需频繁校准间隙。

四、整机结构组成

1. SUS304 镜面不锈钢阀体 + 垂直升降闸板：真空流量调节主体，无死角低放气流道

2. 一体式伺服驱动单元：*控制闸板升降开度

3. 内置电磁抱闸安全组件：断电自锁密封结构

4. 双层密封组件：阀座主密封 + 传动轴轴封

5. KF/JIS/ISO/CF 多规格法兰接口

6. 标准信号接线端子：开度实时反馈、电机过载故障报警信号输出

五、四大法兰系列完整口径型号

1. GAR-NxxB（KF 快拆法兰，研发中试设备）GAR-N25B、GAR-N40B、GAR-N50B、GAR-N63B、GAR-N80B、GAR-N100B、GAR-N160B、GAR-N200B、GAR-N250B

2. GAR-JxxB（JIS 日标法兰，半导体晶圆设备主力）GAR-J80B、GAR-J100B、GAR-J150B、GAR-J200B、GAR-J250B、GAR-J300B、GAR-J350B、GAR-J400B

3. GAR-IxxB（ISO-F 大法兰，大型显示面板产线）GAR-I80B、GAR-I100B、GAR-I150B、GAR-I200B、GAR-I250B、GAR-I300B、GAR-I350B、GAR-I400B

4. GAR-CxxB（CF 金属刀口法兰，高真空无油腔体）GAR-C25B、GAR-C40B、GAR-C50B、GAR-C63B、GAR-C80B、GAR-C100B、GAR-C150B

六、典型应用场景

1. 半导体晶圆工艺设备8/12 寸晶圆 PECVD、CVD 薄膜沉积、等离子刻蚀、离子注入腔体，*管控工艺真空压力，降低大面积晶圆不良率。

2. 大型光学 / 显示面板镀膜产线10 代、10.5 代显示玻璃基板、光伏光学膜、车载大屏连续蒸镀设备，稳定大容量镀膜腔体真空环境。

3. 锂电新能源真空自动化产线大型电极片连续真空烘烤、大容量负压注液腔体，稳定炉内负压，提升动力电池良品率。

4. 新材料研发中试设备高校、企业电子束沉积、复合材料真空脱气、等离子物理实验高真空腔体。

5. 高端工业真空热处理航空精密零件、大型模具真空退火、真空钎焊大容量炉体真空管路流量*控制。

七、配套控制操作逻辑

1. 远程自动模式：PLC / 真空控制器输出 0~10V/4~20mA 模拟信号，阀门线性对应 0~* 开度，全自动 PID 闭环稳压；

2. 本地手动调试：伺服单元自带调试面板，现场手动调节闸板开度，腔体真空调试便捷；

3. 故障联锁保护：电机过载、阀板卡滞自动锁死并输出报警触点，同步切断工艺气源，保护腔体工件；

4. 上电自动校准：设备重启自动完成闸板原点复位，长期运行保持稳定调压精度。