1、X射线管：仪器的一部分，产生照射样品的X射线。

2、光圈：光圈是引导X射线指向样品的装置的部分。XRF仪器中的光圈将决定光斑尺寸——正确的光圈选择对度和测量效率至关重要。

3、探测器：与相关电子设备一并处理从样品中激发出的X射线：探测X射线的能量和强度。

4、对焦系统：确保每次测量中X射线管、零部件和探测器间的X射线可测量且几何光路连续一致；否则会导致结果不准确。

5、相机：帮助用户定位测量区域。某些情形下相机用于向自动操作模块提供图像信息，或包括放大图像以定位需要测量的区域。

6、样品台：样品可放置于固定或可移动的样品台上。快速或慢速移动对于找到测试位置至关重要，随后聚焦于准确的区域进行测量。工作台移动的度是带来测试定位准确的一个因素，并进而贡献于仪器的整体准确度。

 
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