FT-3110B全自动四探针测试仪

价格

电议

型号

FT-3110B

品牌

瑞柯微

所在地

暂无

更新时间

2025-10-31 12:23:57

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FT-3110B全自动四探针测试仪，采用四点探针法、全自动化运行测量系统。使用PC软件采集和数据处理、符合ASTM方法，仪器自动正/负电流输出，自动正/负电压测量。

功能介绍Function Introduction

四点探针法、全自动化运行测量系统

PC软件采集和数据处理、ASTM方法

自动正/负电流输出，自动正/负电压测量

FT-3110B全自动四探针测试仪

测量电阻率、方块电阻、厚度

可调探针压力、测试点数、多种模式

显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值

提供标准校准电阻件、数据统计分析

适用范围Scope of application

晶圆、非晶硅/微晶硅和半导体衬底电阻率测量；选择性发射极扩散片；

表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；*电极设计，如电镀铜电阻测量等；

FT-3110B全自动四探针测试仪

规格型号	FT-3110B（可扩展）
1.方块电阻	10^-6～2×10^5Ω/□
2.电阻率	10-7～2×106Ω-cm
3.测试电流	1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA
4.电阻精度	≤0.3%（标准电阻）
5.PC软件操作	PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度、2D、3D图谱、报表生成等
6.压力范围	探针压力可调范围：100-500g
7.探针	钨钢材质，探针间距1mm；机械游移率：≤0.3%；其他规格可定制
8.载台类型及尺寸选购	选购1:圆形载台晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）选购2：方片载台尺寸：153mm*153mm范围内定制规格
9.分析模式	单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试
10.重复性	单点重复性：重复性≤0.5%
11.防护功能	具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报
12.电源	输入: AC 220V±10%.50Hz，功耗：<600W