该电容式微位移计将新开发的 VE 系列电容式间隙检测器与 VT 系列传感器相结合，以高精度无接触地测量到测量目标（铁、铝、铜和各种金属镀层等导体）的距离和位移。
传感器端面与目标表面之间的间隙和位移是从被测物体表面形成的电容器的电容和安装在其对面的 VE 系列传感器电极的端面测量得出的。
有两种型号可供选择：响应频率为 4 kHz 的 VT-5210 和高速响应频率为 10 kHz 的 VT-5220。 它可有效测量和控制旋转机器（如涡轮机、电动机和压缩机）的轴向振动和表面跳动，以及硅晶片和硬盘等电导体的翘曲、平面度和厚度。
非接触式检测意味着旋转或振动的物体上没有负载，无需更改振动模式。 VE 传感器有 9 种类型，范围从 20μm ~ 8 mm。