气体通道冷却器 ThermoTSTGC80气体制冷机是一种闭环制冷系统,设计用于将干燥气体(如氮气,氩气或空气)从环境温度冷却到低温,而无需预冷。气体是非循环的。
气体通道冷却器 ThermoTSTGC80使用制冷级联技术,以实现低温和低温冷却气体冷却工艺,无需使用液氮和干冰的消耗性冷却剂,降低了成本、风险;是气体制冷应用非常具有成本效益的系统。
气体通道冷却器 ThermoTSTGC80是高度可靠的制程气体制冷系统,广泛用于航空航天,汽车,,半导体和其他行业。
特征:
结构紧凑,移动式设计
触摸屏操作,人机交互界面
不需要液氮LN2,干冰
出口气体流量可自行设定
集成式气体干燥器,无需外置(压缩空气配置选项,小于24SCFM的系统)
单级压缩机,节能环保,性能可靠
风冷或水冷机型可选
专有制冷剂,符合环境气候协议
应用:
电子产品的低温性能验证
半导体加工部件冷却
晶圆卡盘的低温冷却
真空腔室的低温气体充注
流变学研究
材料的低温表征实验
技术规格:
型号
GC25
GC60
GC80
GC80H
温度
≤ -25℃
≤ -60℃
≤ -80℃
流量范围*1
3 ~ 10SCFM(1.4L/s ~ 4.7L/s)
4 ~18 SCFM(1.9 L/s ~ 8.5L/s)
5 ~24 SCFM(1.9 L/s ~ 11.3L/s)
供气流量
8 至 15 SCFM (3.8 至 7.0 L/s)
15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s)
性能*2
≤-25°C,制冷机输出10SCFM
≤-60°C,制冷机输出18SCFM
≤-80°C,制冷机输出18SCFM
≤-80°C,制冷机输出22SCFM
预冷时间
≤ 10min
≤ 20min
操作界面
高清彩色触摸屏,7 TFT
系统语言
中文/英文
进/出气接口
1/4”Rc Female
3/8”Rc Female
1/2”Rc Female
3/4”Rc Female
通讯接口
RS232,LAN
制冷剂
专有环保型制冷剂
噪音
≤ 52dBA
≤ 65dBA
≤ 69dBA
气源要求
气体*3
各种干燥气体(如:氮气,氩气,氧气等)或洁净的压缩空气
气体洁净度
油分子:≤ 0.01ppm,过滤至0.1um的油雾/粉尘污染物
进气温度
+5°C至+25°C
CDA时压力露点
< 10℃ @0.62Mpa(90PSI)
CDA时进气压力*4
15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s);标准25SCFM(11.8L/S)
工作环境要求
+10℃至+ 25℃
相对湿度
25%至65%
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气体通道冷却器 ThermoTSTGC80气体制冷机是一种闭环制冷系统,设计用于将干燥气体(如氮气,氩气或空气)从环境温度冷却到低温,而无需预冷。气体是非循环的。
气体通道冷却器 ThermoTSTGC80使用制冷级联技术,以实现低温和低温冷却气体冷却工艺,无需使用液氮和干冰的消耗性冷却剂,降低了成本、风险;是气体制冷应用非常具有成本效益的系统。
气体通道冷却器 ThermoTSTGC80是高度可靠的制程气体制冷系统,广泛用于航空航天,汽车,,半导体和其他行业。
特征:
结构紧凑,移动式设计
触摸屏操作,人机交互界面
不需要液氮LN2,干冰
出口气体流量可自行设定
集成式气体干燥器,无需外置(压缩空气配置选项,小于24SCFM的系统)
单级压缩机,节能环保,性能可靠
风冷或水冷机型可选
专有制冷剂,符合环境气候协议
应用:
电子产品的低温性能验证
半导体加工部件冷却
晶圆卡盘的低温冷却
真空腔室的低温气体充注
流变学研究
材料的低温表征实验
技术规格:
型号
GC25
GC60
GC80
GC80H
温度
≤ -25℃
≤ -60℃
≤ -80℃
≤ -80℃
流量范围*1
3 ~ 10SCFM(1.4L/s ~ 4.7L/s)
4 ~18 SCFM(1.9 L/s ~ 8.5L/s)
4 ~18 SCFM(1.9 L/s ~ 8.5L/s)
5 ~24 SCFM(1.9 L/s ~ 11.3L/s)
供气流量
8 至 15 SCFM (3.8 至 7.0 L/s)
15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s)
15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s)
15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s)
性能*2
≤-25°C,制冷机输出10SCFM
≤-60°C,制冷机输出18SCFM
≤-80°C,制冷机输出18SCFM
≤-80°C,制冷机输出22SCFM
预冷时间
≤ 10min
≤ 20min
≤ 20min
≤ 20min
操作界面
高清彩色触摸屏,7 TFT
高清彩色触摸屏,7 TFT
高清彩色触摸屏,7 TFT
高清彩色触摸屏,7 TFT
系统语言
中文/英文
中文/英文
中文/英文
中文/英文
进/出气接口
1/4”Rc Female
3/8”Rc Female
1/2”Rc Female
1/2”Rc Female
1/2”Rc Female
1/2”Rc Female
1/2”Rc Female
3/4”Rc Female
通讯接口
RS232,LAN
RS232,LAN
RS232,LAN
RS232,LAN
制冷剂
专有环保型制冷剂
专有环保型制冷剂
专有环保型制冷剂
专有环保型制冷剂
噪音
≤ 52dBA
≤ 65dBA
≤ 65dBA
≤ 69dBA
气源要求
气体*3
各种干燥气体(如:氮气,氩气,氧气等)或洁净的压缩空气
气体洁净度
油分子:≤ 0.01ppm,过滤至0.1um的油雾/粉尘污染物
进气温度
+5°C至+25°C
CDA时压力露点
< 10℃ @0.62Mpa(90PSI)
CDA时进气压力*4
15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s);标准25SCFM(11.8L/S)
工作环境要求
温度
+10℃至+ 25℃
相对湿度
25%至65%