测量项目

粗糙度 部分
Ra,Rz=Ry(JIS),Rq,Rt=Rmax,Rp,Rv,R3z,R3y,RzJIS,Rs,Rsk,Rku,Rsm,Rmr

轮廓仪 部分
点、直线、圆、部分圆、椭圆、圆弧处理（圆弧半径、圆心距、圆心到直线的距离、交点到圆心的距离等）、*点、*低点、距离、角度处理（坐标夹角、直线夹角）、直线度、槽深、槽宽、沟边距、沟心距、水平距、凸度（对数曲线）、轮廓度等参数

粗糙度 测量范围

X轴
RA：0.005μm—16.00μm

Z1轴
±20μm、±40μm、±80μm

取 样 长 度 L
0.25mm、0.80mm、2.50mm、自动

评 定 长 度
1L—5L(可选 L为取样长度)

测量行程长度
3L—7L(可选 L为取样长度)

轮廓仪 测量范围

X轴（横导轨）

100mm

Z1轴（传感器）

15mm

Z轴（立柱）

400mm

粗糙度 测量精度

示值误差 1
0.001μm

示值误差 2
≤±7％

轮廓仪 测量精度

X轴
(L=X轴导轨移动距离)
±(1.2+2L/100)μm

Z1轴
(H=Z1轴方向测量高度)
±(1.8+4H/100)μm
X轴水平臂

直线度
1.2μm/100mm

光栅分辨率
0.1μm

光栅产地
进口
Z1轴传感器

分辨率
0.2μm

传感器类型
光栅传感器

产地
进口

移动方向
前/后 双方向

测力
0.5-6g

测针针尖
硬质合金 R：0.05mm、0.01mm

爬坡角度
上升77度 下降88度

驱动行程

*驱动行程长度
17.5mm/0.71 inch

*小驱动行程长度
1.3mm/0.052 inch

测量速度

0.135mm/s、0. 5mm/s、1mm/s

测量速度
0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定义）

定位速度
0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定义）

图形放大
可任意缩小、放大

综合调整台
X轴水平倾斜调整范围：±30°

Y轴方向调整范围：±7.5mm
Z轴回转可调360度（带微调装置）

安装要求

电源
220-240V  AC, 50HZ，单独地线；*功率消耗450W

压缩空气
纯净压缩空气：气压0.4MP，消耗0.1m3 /min （气源供给0.6MP，0.25m3 /min以上）

环境要求
工作温度：10°-30°（常温）；湿度20-80%RH（无结露），良好地线，无明显振源