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随着科学技术的发展，对计量技术的要求越来越高，尤其是当代和天文等技术的发展，要求计量向纳米技术发展，纳米计量和技术成为目前各学科必须解决的问题。因此仪器计量部门都在研究和生产各种纳米级准确度的计量仪器，并探讨其和校正，以科学技术发展的需要。近几年来，各国相继研制*了各种纳米量级的测微仪，它们包括激光干涉仪、电容测微仪和电感测微仪，这些测微仪虽然已经在许多学科及部门了广泛应用，有的测微仪的准确度到底如何?就目前的是无法进行测定的。另外，还有一些微位移进给器件，例如压电陶瓷等，虽然应用范围很广，但其非线性和位移准确度如何?有时也没有可靠的检测手段。

一、基于有基准的仪器校正技术

有基准是的对比仪器校正，此在仪器计量部门对各种新设备的、旧设备的校正以及各个学科的实际工程技术测量中都了广泛的应用。

有基准仪器校的基本原理是：对于任何被测量新的或在用中的检测设备，为了确定其测量结果的可靠性，通常采用比被测量准确度更高等级的检测设备，准确地其在测量范围内的测量准确度、分辨力、性等性能指标。从该的原理看出，对于长度计量的位移传感器的仪器校正技术，必须解决两个关键性问题：一是具有更高等级准确度、更高分辨力的测微；二是能够提供足够小的达到测微分辨力的微位移机构。只有了上述两个条件，才能真正对测微的分辨力、准确度、性等性能指标给予的评价。对于具有有效测量面积位移传感器的测微，采用这种原理进行的主要有以下几种：

1、小角度检查仪(正弦尺)

用小角度检查仪和标准量块对精密电容测微仪的是80年代末期，仪器计量部门针对具有有效测量面积的电容和电感测微仪而制定的一种，其具体的工作原理如图1-1所示。

在小角度检查仪左、右两端的指示计安装架中，分别装上式光干涉仪，并将事先经过或加工的孔距为50±0.02mm的夹具，装在式干涉仪上。在夹具左端的孔中装上被测微仪的传感器，经，使传感器测头轴心线端点与式干涉仪测头顶点在同一条直线上，且和桥形工作台纵向对称中线相重合，安装结果如图1-1所示。小角度检查仪经过上述，构成了50：500即1:10的杠杆机构，借助框式水准器，桥形工作台使其台面基本水平。根据被测微仪的实际情况确定受检点的数值，以此为依据选用相应尺寸和等级的量块，如量程为±10mm的精密电容式测微仪时，则选用1，1.005和1.010mm的量块。为使式干涉仪定位可靠，再选用一块不低于5等的1mm量块。

分别将两块lm量块，椎入式干涉仪测头下面对零，将作为电容传感器测量极板的标准量块推入被传感器测头的下面，上下传感器测头好初始间隙，将电容式测微仪的输出显示到零。然后在小角度仪的右端推入1.005mm量块，换掉其式干涉仪下面l哪的量块，同时用右端的升降机构桥形工作台，使式干涉仪重新指示为零，这时读取电容测微仪的显示值。用同样，推入1.010mm的量块更换掉干涉仪下面1.005mm的量块，以10mm的受检点。这样我们对精密电容测微仪的正量程就完成了。这时用1．010mm的量块对电容测微仪进行调零，采用1.005mm和1m的量块分别电容测微仪-5mm和-10mm的受检点。通过上述两个步骤可对被检测微仪完成一次。当然对于被的测微的准确度和测量范围的不同，其受检的点数和受检的范围也各不相同，但其的完全一样。各受检点的测得值与受检点的标称值之差值，即测量范围内的示值误差，其误差不得过测微的允许值。采用此也可以对同等准确度的激光干涉仪或同等准确度的其它计量进行。

从上面的论述可以看出，采用这种装置和对被检测微的，其的准确度不仅取决于量块的精度等级，而且与小角度检查仪两端的干涉仪的准确度、小角度检查仪右端的升降机构的精度都密切相关。用这种的测微的精度可达0.02um，完全可以许多测微的要求，但对精密测微采用此进行，其精度很难测微精度的需要。

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