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高频光电导少数载流子寿命测试仪 型号S810-LT-1B库号D397453
库号:D397453
高频光电导少数载流子寿命测试仪是参照半导体设备和材料组织SEMI标准(F28-75)及标准GB/T1553-1997设计制造。本设备采用高频光电导衰减测量方法,适用于硅、锗单晶的少数载流子寿命测量,硅单晶寿命测量ρ≥3Ω·cm,由于对样块体形无严格要求,因此应用于工厂的常规测量。寿命测量可灵敏地反映单晶体重金属污染及缺陷存在的情况,是单晶质量的重要检测项目。
参数
(1)电阻率测量范围ρ≥3Ω·cm,寿命测试范围:5~10000μs
(2)光脉冲发生装置
重复频率>25次/s 脉宽≥60μs 光脉冲关断时间<1μs
红外光源波长:1.06μm(测量硅单晶),如测量锗单晶寿命需另行配置适当波长的光源。
脉冲电源:~12A
(3)高频源
频率:30MHz 低输出阻抗 输出功率>1W
(4) 放大器和检波器
频率响应:2Hz~3MHz
寿命测试范围:5~10000μs
按测量标准对仪器设备的要求,本仪器设备配有:
(5)读数方式:可选配载流子寿命测试软件系统或数字示波器读数,软件系统测试操作简单,点击“测量”即可,自动保存数据及相应测试点衰减波形到数据库,可进行查询历史数据和导出历史数据等操作。
高频光电导少数载流子寿命测试仪是参照半导体设备和材料组织SEMI标准(F28-75)及标准GB/T1553-1997设计制造。本设备采用高频光电导衰减测量方法,适用于硅、锗单晶的少数载流子寿命测量,硅单晶寿命测量ρ≥3Ω·cm,由于对样块体形无严格要求,因此应用于工厂的常规测量。寿命测量可灵敏地反映单晶体重金属污染及缺陷存在的情况,是单晶质量的重要检测项目。
参数
(1)电阻率测量范围ρ≥3Ω·cm,寿命测试范围:5~10000μs
(2)光脉冲发生装置
重复频率>25次/s 脉宽≥60μs 光脉冲关断时间<1μs
红外光源波长:1.06μm(测量硅单晶),如测量锗单晶寿命需另行配置适当波长的光源。
脉冲电源:~12A
(3)高频源
频率:30MHz 低输出阻抗 输出功率>1W
(4) 放大器和检波器
频率响应:2Hz~3MHz
寿命测试范围:5~10000μs
按测量标准对仪器设备的要求,本仪器设备配有:
(5)读数方式:可选配载流子寿命测试软件系统或数字示波器读数,软件系统测试操作简单,点击“测量”即可,自动保存数据及相应测试点衰减波形到数据库,可进行查询历史数据和导出历史数据等操作。
高频光电导少数载流子寿命测试仪是参照半导体设备和材料组织SEMI标准(F28-75)及标准GB/T1553-1997设计制造。本设备采用高频光电导衰减测量方法,适用于硅、锗单晶的少数载流子寿命测量,硅单晶寿命测量ρ≥3Ω·cm,由于对样块体形无严格要求,因此应用于工厂的常规测量。寿命测量可灵敏地反映单晶体重金属污染及缺陷存在的情况,是单晶质量的重要检测项目。
参数
(1)电阻率测量范围ρ≥3Ω·cm,寿命测试范围:5~10000μs
(2)光脉冲发生装置
重复频率>25次/s 脉宽≥60μs 光脉冲关断时间<1μs
红外光源波长:1.06μm(测量硅单晶),如测量锗单晶寿命需另行配置适当波长的光源。
脉冲电源:~12A
(3)高频源
频率:30MHz 低输出阻抗 输出功率>1W
(4) 放大器和检波器
频率响应:2Hz~3MHz
寿命测试范围:5~10000μs
按测量标准对仪器设备的要求,本仪器设备配有:
(5)读数方式:可选配载流子寿命测试软件系统或数字示波器读数,软件系统测试操作简单,点击“测量”即可,自动保存数据及相应测试点衰减波形到数据库,可进行查询历史数据和导出历史数据等操作。
高频光电导少数载流子寿命测试仪是参照半导体设备和材料组织SEMI标准(F28-75)及标准GB/T1553-1997设计制造。本设备采用高频光电导衰减测量方法,适用于硅、锗单晶的少数载流子寿命测量,硅单晶寿命测量ρ≥3Ω·cm,由于对样块体形无严格要求,因此应用于工厂的常规测量。寿命测量可灵敏地反映单晶体重金属污染及缺陷存在的情况,是单晶质量的重要检测项目。
参数
(1)电阻率测量范围ρ≥3Ω·cm,寿命测试范围:5~10000μs
(2)光脉冲发生装置
重复频率>25次/s 脉宽≥60μs 光脉冲关断时间<1μs
红外光源波长:1.06μm(测量硅单晶),如测量锗单晶寿命需另行配置适当波长的光源。
脉冲电源:~12A
(3)高频源
频率:30MHz 低输出阻抗 输出功率>1W
(4) 放大器和检波器
频率响应:2Hz~3MHz
寿命测试范围:5~10000μs
按测量标准对仪器设备的要求,本仪器设备配有:
(5)读数方式:可选配载流子寿命测试软件系统或数字示波器读数,软件系统测试操作简单,点击“测量”即可,自动保存数据及相应测试点衰减波形到数据库,可进行查询历史数据和导出历史数据等操作。