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压缩空气清净化过滤器

水分离器 AMG

	・去除压缩空气中的水滴。・水分去除率：99％。・简单！便捷！连接于气路中即可去除水分!

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系列	处理空气量 L/min（ANR）	接管口径
AMG	300～12000	1/8～2

主气路过滤器 AFF

・通过降低压降，提高处理空气量，实现了节能。
处理空气量：14.5m³/min（ANR）与以前产品比多提高了20％。
压降：5kPa以下。
・质量轻：多削减52％(10.5kg→5.0kg)。
采用更薄的不锈钢外壳，减轻了质量。
・省空间、可减少工时。
1台过滤器既可去除水分又可去除固体杂质。
无需设置除水过滤器（水分离器 AMG系列），既省空间又节省配管工时。
・滤芯更换的作业性提高。
带有防止外壳落下的限位功能。

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系列	过滤精度（μm）	额定流量（m³/min［ANR］）	接管口径
AFF	1.0（捕捉效率99%）	7～14.5	1,1/2, 2

主气路过滤器 AFF

	・去除油、水、异物等杂质，可提高下游干燥器的性能、延长精密过滤器滤芯的寿命、防止元件出现异常。

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系列	过滤精度（μm）	额定流量 L/min（ANR）	接管口径
AFF	3（捕捉效率99％）	300～42000	1/8～4B法兰

油雾分离器 AM

	・可将油雾分离去除，还可滤除0.3μm以上的铁锈、碳粉等固体微粒。

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系列	过滤精度（μm）	额定流量 L/min（ANR）	接管口径
AM	0.3（捕捉效率99.9％）	300～12000	1/8～2

微雾分离器 AMD

	・将悬浮状的油微粒分离去除，还可滤除0.01μm以上的碳粉及灰尘。・用于需要高洁净度空气的精密计量仪或作为洁净室用压缩空气的前置过滤器使用。

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系列	过滤精度（μm）	额定流量 L/min（ANR）	接管口径
AMD	0.01（捕捉效率99.9％）	200～12000	1/8～2

带前置过滤器的微雾分离器 AMH

	・将AM系列与AMD系列一体化，减小了安装空间、缩短了配管工时、降低了成本。・将悬浮状的油微粒分离去除，还可滤除0.01μm以上的碳粉及灰尘。・用于需要高洁净度空气的精密计量仪或作为洁净室用压缩空气的前置过滤器使用。

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系列	过滤精度（μm）	额定流量 L/min（ANR）	接管口径
AMH	0.01（捕捉效率99.9％）	200～12000	1/8～2

威油雾分离器 AME

	・将悬浮状的状的油微粒分离吸收，可将有油的润滑压缩空气转变为无油空气。・用于需要高洁净度空气的涂装线或作为洁净室用压缩空气的前置过滤器使用。主要用于对无油程度要求高的工艺中。

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系列	过滤精度（μm）	额定流量 L/min（ANR）	接管口径
AME	0.01（捕捉效率99.9％）	200～12000	1/8～2

除臭过滤器 AMF

	・活性炭纤维滤芯可将压缩空气中的异味有效去除。用于洁净室等不能有异味的场合。・活性炭滤芯吸附面积大。・滤芯更换、安装容易。

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系列	过滤精度（μm）	额定流量 L/min（ANR）	接管口径
AMF	0.01（捕捉效率99.9％）	200～12000	1/8～2

直线型空气过滤器 ZFC

	・使用压力范围：－100kPa～1.0MPa。既可用于正压也可用于真空压。・采用防回转结构。使用正压时，防止因松动造成零部件飞散。・有2种透明外壳材质可选。聚碳酸酯（标准）、尼龙（订制规格）。注1）供给压力0.1MPa、压差30kPa 注2）订制规格

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系列	适合管子外径公制	适合管子外径英制	流量 L/min（ANR）^注1）正压	流量 L/min（ANR）真空压	过滤精度(μm)
ZFC1□	φ2, φ3.2	φ1/8''	15/45	2/5	5，10^注2）
ZFC3□	φ3.2, φ4	φ1/8'', φ5/32''	50/80	7/10	5，10^注2）
ZFC5□	φ4, φ6	φ5/32'', φ1/4''	100/200	10/20	5，10^注2）
ZFC7□	φ6, φ8 , φ10, φ12	φ1/4'', φ5/16'', φ3/8''	250/450/550/650	30/70/80/100	5，10^注2）

带快换管接头的真空过滤器／直线型 ZFC

	・IN、OUT在一条直线上。・带快换管接头，易于拆装。・树脂成型品，重量轻、体积小。・可更换滤芯的卡盒型。 ※ZFC050/100/200系列预计于2017年6月进行产品变更。请选择ZFC1□～7□系列。

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系列	适合管子外径公制	适合管子外径英制	流量 L/min （ANR）	过滤精度 (μm)
ZFC050	φ2，φ3.2，φ4	φ1/8，φ5/32	2～10	10
ZFC100	φ4，φ6	φ5/32，φ1/4	10～20	10
ZFC200	φ6，φ8	φ1/4，φ5/16	30～50	10

洁净型气体过滤器 SF

	・采用可更换滤芯的卡盒型。 (SFA100・200・300，SFB100) ・半导体工艺用的小型一次性过滤器。 (SFB300，SFC100)

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形式	系列	使用压力	过滤精度
卡盒型碟片型	SFA100・200・300	0.99MPa （真空：1.3×10^-6kPa）	0.01μm （捕捉效率99.99％）
卡盒型直线型	SFB100	0.99MPa （真空：1.3×10^-6kPa）	0.01μm （捕捉效率99.99％）
一次性型直线型	SFB300	0.99MPa （真空：1.3×10^-6kPa）	0.01μm （捕捉效率99.99％）
一次性型多级碟片型	SFC100	0.99MPa （真空：1.3×10^-6kPa）	0.01μm （捕捉效率99.99％）

洁净型气体滤网 SFB200

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形式	系列	使用压力	过滤精度
卡盒型直线型	SFB200	0.99MPa （真空：1.3×10^-6kPa）	120μm

洁净型空气过滤器中空类滤芯 SFD

	・内置中空类滤芯。・压降：0.03MPa（1次压0.7MPa、大流量时）。・减少了污染环境的化学物质，符合RoHS。

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系列	种类	使用压力	过滤精度
SFD100	一次性（不可更换滤芯）	1.0MPa	0.01μm （捕捉效率：99.99%）
SFD200	卡盒型（可更换滤芯）	1.0MPa	0.01μm （捕捉效率：99.99%）

洁净型空气模块 LLB

	・将洁净元件模块化（削减配管工时／省空间）。可轻松地得到洁净空气。・过滤精度：0.01μm（捕捉效率99.99％）。・接触流体部分：无润滑脂、无硅。・在洁净室内进行双重捆包后出厂。・有24种组合。注）入口空气条件 ISO 8573-1 品质等级相当于1.4.1～1.6.1。

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系列	使用流体	设定压力	流量范围 L/min（ANR）
LLB3	洁净空气 N₂气体 ^注）	0.05～0.4MPa	5～100
LLB4	洁净空气 N₂气体 ^注）	0.05～0.4MPa	50～500

吹气模块 LLB1

	・配管工时削减/省空间。・将各元件紧凑地一体化。・可短间距安装实现压力的集中管理。・接触流体部分：无润滑脂。

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系列	使用流体	设定压力	流量范围 L/min（ANR）
LLB1	空气、N₂气体	0.05～0.6MPa 0.05～0.35MPa	～100

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