二、核心规格参数

1. 传感器探头（测量端）

• 测量线性范围：X 轴 ±0.3°、Y 轴 ±0.3°

• 零点重复精度：≤±0.001°（17.5μm/m）

• 测量分辨率：0.0002°

• 响应速度：≤50ms，实时角度反馈

• 尺寸 / 重量：Φ50×H19mm，70g；底座可选 SUS 不锈钢 / 铝合金

• 工作温度：-10℃ ~ +50℃

• 标配线缆：2m 有线连接线

2. 显示控制器主机

• 处理器：32 位微型计算机，14bit 高精度 AD 转换

• AD 分解能力：0.000025°

• 显示屏：4.3 英寸彩色触控液晶屏，480×272 像素

• 显示档位切换：0.01° / 0.001° / 0.0001° 三档可调

• 合格区间自定义：*小设置单位 0.0001°，范围自动 NG 告警

• 量程提示：倾角＞0.3° 屏幕显示 OVER

• 供电： DC6V/2A 适配器，或 4 节 AA 干电池

• 主机尺寸 / 重量：W96×D35×H145mm，280g

• 功能：无本地数据存储（升级款 SELN-011B 带 SD 卡存储）

三、产品核心优势

1. 微米级高测量精度双轴零点重复精度 ±0.001°，换算 1 米长度仅 17.5 微米偏差，满足半导体光刻机、晶圆载台、光学平台严苛调平标准，杜绝传统气泡水平仪肉眼读数误差。

2. 分体有线小巧探头，适配狭小密闭工位传感器仅硬币大小，可伸入设备夹层、晶圆腔体、上下窄间隙等普通水平仪无法观测的内部区域；2 米长线可实现高空、设备内部远程观测，单人独立完成调平作业。

3. 可视化气泡模拟触控界面，上手零门槛屏幕复刻传统圆形气泡水平仪图形，红绿双圈自定义合格公差范围；红点代表实时倾角，落在绿色区间显示 GOOD，出直接 NG 提示，新手无需*培训即可标准化作业，统一全厂调平判定标准。

4. 双轴同步实时检测，大幅缩短调试工时X/Y 两轴数值同步显示，一次性完成两个方向调平，避免单轴仪器反复调试产生累积误差，设备安装、检修工时降低 50% 以上。

5. 工业稳定耐用，适配无尘车间环境不锈钢探头底座防静电、低粉尘析出，适配半导体无尘室；宽温工作区间，机床、自动化产线冷热工况均可稳定测量。

四、主流应用行业场景

1. 半导体制造（核心适配场景）晶圆载台、光刻机工作台、真空腔体、UV 曝光机、探针台、封装设备水平校准，保障曝光、镀膜、切割工艺良率。

2. 精密光学设备光学平台、激光设备、分光机、滤光片检测台平面度调平。

3. 精密加工机床CNC 加工中心、磨床、坐标镗床导轨、主轴底座水平校正。

4. 自动化设备贴片机、检测设备、流水线输送机机架水平校准。

5. 实验室精密仪器天平、扫描设备、高精度测试平台平面检测。

五、同系列型号区分

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