等离子技术实现了干式处理，替代了传统的湿法处理技术。

等离子，即物质的第四态，是由部分电子被剥夺后的原子以及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气状物质。这种电离气体是由原子，分子，原子团，离子，电子组成。其作用在物体表面可以实现下列功能：

1. 实现物体的洁净清洗

2.物体表面活化、蚀刻 、精整

3.等离子表面涂覆

主要应用领域：
1、 半导体元件、印刷线路板的清洗。
2、 高分子材料表面修饰
3、 生物芯片、微流控芯片的清洗
4、 芯片、电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片等的清洗
5、 各种形状的人工晶体、ATR元件、天然晶体和宝石的清洗。
6、 光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片的清洗。
7、 各种陶瓷、金属基片上的残留凝胶等杂质的清洗。
8、 各种医疗器材和仪器的清洗。
9、 增加复合材料、生物分子材料表面的结合力。

10. 有机材料微观低温灰化、煤的低温灰化

北京燕京电子有限公司代理的Harrick sma等离子清洗器是用于表面清洗、表面处理和表面分子重组的环保型设备。它具有设计精巧、成本低廉、功能全面等优点；广泛应用于金属、陶瓷、复合材料、塑料、聚合物和生物材料的表面处理。

主要特点：

1. 台式设计，结构紧凑精致

2. 低、中、高三档可调节功率

3. 设备辐射小，安全环保

4. 功能全面、能够满足客户不同的研究需要

基本型- PDC-32G-2 等离子清洗器

技术参数

外形尺寸: 8.5"H x 10"W x 8"D（215mm x 254mm x 203mm）

输入电源: 220 V／50Hz

输入功率: 100W

重量: 6.0kg

常用工作气体: 空气、氩气、氮气或混合气体等

功率档: 低档--680V DC、10mA DC、6.8W

中档--700V DC、15mA DC、10.5W

--720V DC、25mA DC、18W

基本配置:

直径3英寸(76mm)，长6.5英寸(165mm)的耐热玻璃舱体可拆卸舱盖

大为18W的RF线圈
1/8英寸NPT针阀
1/8英寸NPT三通阀

必配件： 真空泵

选配件：

气体计量混合器smaFloTM

石英等离子清洗舱

石英托盘（用于放置样品）