功能介绍Function Introduction
四点探针法、全自动化运行测量系统
PC软件采集和数据处理、ASTM方法
自动正/负电流输出,自动正/负电压测量
测量电阻率、方块电阻、厚度
可调探针压力、测试点数、多种模式
显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值
提供标准校准电阻件、数据统计分析
适用范围Scope of application
晶圆、非晶硅/微晶硅和半导体衬底电阻率测量;选择性发射极扩散片;
表面钝化片;交叉指样PN结扩散片;*电极设计,如电镀铜电阻测量等;
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四点探针法、全自动化运行测量系统
PC软件采集和数据处理、ASTM方法
自动正/负电流输出,自动正/负电压测量
测量电阻率、方块电阻、厚度
可调探针压力、测试点数、多种模式
显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值
提供标准校准电阻件、数据统计分析
适用范围Scope of application
晶圆、非晶硅/微晶硅和半导体衬底电阻率测量;选择性发射极扩散片;
表面钝化片;交叉指样PN结扩散片;*电极设计,如电镀铜电阻测量等;