VPG⁺800 / VPG⁺1100 / VPG⁺1400

大尺寸高速圖形發生器

Large–Area Volume Pattern Generators

光学系统上的创新与突破-平行化曝光制程技术制版系统

VPG +大尺寸曝光系统适合用于*封装，半导体，显示器，彩色滤光片，LED和触摸屏等相关掩膜版制作的应用。

VPG +系统支持所有工业等级数据化格式，并提供Mura优化功能，呈现*的CD均匀性和分辨率。
VPG + 1400是我们*的系统，特别针对显示器领域和FPD的应用，例如TFT数组和彩色滤光片以及ITO。

VPG + 1400具有高精度的设备架构，分辨率低至1.2 nm的差分干涉仪及*的Mura校正功能。

关于我们 - Stella International

Stella International携手光刻技术领航者-海德堡仪器公司，共同为客户带来*的综合应用效能，同时建立紧密的合作伙伴关系。

为了服务客户更广泛多元的应用领域，Stella International于 2016年在苏州成立海德堡仪器演示中心，以海德堡原厂伙伴技术支援，提供客户技术交流平台以及各式前段打样的基础研究，

这些年来已服务许多的国内大学，研究所与企业前期研发单位。

介绍

德国海德堡 高精密无掩膜激光直写设备
HEIDELBERG MASKLESS AND LASER LITHOGRAPHY SYSTEM

德国海德堡设备(Heidelberg Instruments)，创始于1984年，在激光直写设备的发展和设计上，一直是*的。多年以来，系统设备持续地改良、在各种应用上客制化。

应用范围包括：微电脑和纳米科技, MEMS, 平面屏幕, BGA, ASICS, TFT, sma Disys, Micro Optics, 和其他相关领域。

销售横跨欧洲、美国、亚洲等过50几个*、700个以上销售据点，用于研发、快速原型制作和工业生产系统，是企业研究和发展的*伙伴。