VPG⁺200 / VPG⁺400

高灵活度与高精度光刻的解决方案

The Multi-Purpose Volume Pattern Generators

光学系统上的创新与突破-平行化曝光制程技术制版系统

VPG+系列分为中小尺寸和大尺寸曝光系统，*服务中小型和大型版面的光刻制程。
VPG+200和VPG+400为*的中小型快速光刻机，采用VPG+800以上的大型平台的运作原理，拥有光刻领域的*技术。

产业应用：MEMS、*封装、3D集成、LED生产及化合物半导体等的领域。

关于我们 - Stella International

Stella International携手光刻技术领航者-海德堡仪器公司，共同为客户带来*的综合应用效能，同时建立紧密的合作伙伴关系。

为了服务客户更广泛多元的应用领域，Stella International于 2016年在苏州成立海德堡仪器演示中心，以海德堡原厂伙伴技术支援，提供客户技术交流平台以及各式前段打样的基础研究，

这些年来已服务许多的国内大学，研究所与企业前期研发单位。

介绍

德国海德堡 高精密无掩膜激光直写设备
HEIDELBERG MASKLESS AND LASER LITHOGRAPHY SYSTEM

德国海德堡设备(Heidelberg Instruments)，创始于1984年，在激光直写设备的发展和设计上，一直是*的。多年以来，系统设备持续地改良、在各种应用上客制化。

应用范围包括：微电脑和纳米科技, MEMS, 平面屏幕, BGA, ASICS, TFT, sma Disys, Micro Optics, 和其他相关领域。

销售横跨欧洲、美国、亚洲等过50几个*、700个以上销售据点，用于研发、快速原型制作和工业生产系统，是企业研究和发展的*伙伴。