PARK NX20纳米测量工具助推缺陷分析和大型样品研究

作为一位缺陷分析工程师，你的任务是提供结果。而你的仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20，这架全球精密的大型样品原子力显微镜，凭借着的数据准确性，在半导体和硬盘行业中大受赞扬。

更为强大的缺陷分析解决方案

Park NX20具备的功能，可轻易找出仪器缺陷的原因并帮助制定更多创意的解决方案。的精密度为你带来高分辨率数据，让你能够更加专注于工作。与此同时，True Non-Contact™(真正非接触)扫描模式让探针尖duan更锋利、更耐久，无需为频繁更换而耗费大量的时间和金钱。

操作简单，入门级工程师的福音

Park NX20拥有业界为友好的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也无需为此时时初级工程师。借助这一系列特点，您可以更为专注于解决更为重大的问题并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析。

*技术信息

三维结构研究的侧壁测量

NX20的创新构造让您可以检测样品的侧壁和表面，并测量角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和深刻洞察力所需的。

表面粗糙度测量 - 媒介和基体

表面粗糙度测量是Park NX20的关键应用，能够带来的缺陷分析和质量保证。

高分辨率电性扫描模式

快的扫描式电容显微镜

无横向摩擦导电原子力显微镜

True Sample Topography™(真正样品扫描），让压电蠕变无影踪

 我们的原子力显微镜配有有效的低噪声Z轴探测器，宽噪音带宽仅有0.02 nm。这能够带来样品形貌，不受沿过冲影响，且无需校准。这仅仅是Park原子力显微镜为您节省时间和带来更好数据的方式。

*技术特点

二维柔性导引扫描器，大的100 μm x 100 μm扫描范围

XY轴扫描器含有对称的二维柔性和高强度压电叠堆，可在保持平面外运动少的情况下，实现高正交运动以及纳米级样品扫描下的高响应度。

低噪声位置传感器

低噪声Z轴探测器替代Z电压，作为样貌信号。此外，低噪声XY闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。

步进扫描自动化

借助电动样品台，步进扫描模式能够允许用户自行编程多区域成像。在重复成像过程中，该自动化功能可减少用户的工作，从而提高生产力。

滑动连接辐射发光二极管(SLD)镜头自动装卸

 燕尾式轨道设计，轻松更换原子力显微镜镜头。该设计可将镜头自动锁定至预对准的位置，并将其连接至控制电子元件，而重复定位精度只有几微米。借助辐射发光二极管(SLD)的低相干性，显微镜可成像高度反光表面和精密测量pico-Newton力对距光谱。此外，辐射发光二极管的波长也解决了干扰问题，让用户可随意在可见光谱实验中使用原子力显微镜。

高级扫描探针显微镜模式和选项扩展槽

 只需要将可选模块插入扩展槽，您便可激活高级高级扫描探针显微镜模式。得益于NX系列原子力显微镜的模块化设计，其产品线产品的兼容性大大提高。

高速24位数字电子控制器

所有NX系列的原子力显微镜都是由相同的NX电子控制器进行控制和处理。该控制器为一个全数字、24位高速电子单元，能够确保Park True Non-Contact^TM模式下的成像精度和速度。凭借着低噪声设计和高速处理单元，该控制器是纳米级成像和电压电流测量的理想选择。嵌入式数字信号处理为原子力显微镜带来更为丰富的功能，进一步提升，是高级研究员的佳选择。

XY和Z轴探测器的24位信号解决方案

·XY轴(50 μm)的分辨率为0.003 nm

·Z轴(15 μm)的分辨率为0.001 nm

嵌入式数字信号处理功能

·三通道灵活数字锁相·弹簧常数校正（热测法）

·数字Q控制

集成式信号端口

·可编程信号输入/输出端口

·7个输入端口和3个输出端口

高速Z轴扫描器，扫描范围达15 μm

 借助高强度压电叠堆和柔性结构，标准Z轴扫描器的共振频率高达9 kHz以上（一般为10.5 kHz）且探针的Z轴移动速率不低于48 mm/秒，让信息反馈更为准确。大Z轴扫描范围可从标准的15 μm扩展至40μm（可选购的远距离Z轴扫描器）。

电动XY轴样品台，可选配编码器

 在电动样品台上加装编码器，可保证更高的重复定位精度，让样品定位更为准确。在配备编码器后，XY轴样品台的行程精度低至1 μm且重复定位精度低至2 μm，而Z轴样品台的行程精度和重复定位精度分别为0.1 μm和1 μm。

可更换式样品架

 借助的镜头设计，用户可从侧面操作样品和探针。根据XY轴样品台所设定的行程范围，用户在样品台上可防止的大样品体积为直径150 mm x 20 mm或直径200 mm x 20 mm。

直视同轴高倍显微镜，集成LED照明

定制物镜配有长工作距离（51 mm，0.21的数值孔径，1.0 μm的分辨率），带来前所未有的镜头清晰度。直视同轴设计让用户可轻易地在样品表面找寻目标区域。为了达到更高的分辨率，我们采用了EL20x长行程物镜，且工作距离为20 mm，数值孔径为0.42，分辨率为0.7 μm。得益于CCD的大体积传感器，样品视角更宽，但分辨率却不受影响。由软件控制的LED光源能为样品表面提供足够的照明，以便清晰观察样品。

垂直配向的电动Z轴样品台和聚焦样品台

 Z轴样品台和聚焦样品台与悬臂连接，得以操控样品表面，且同时能够保证用户有着清晰的视野。此外，得益于聚焦样品台为电动且可软件控制，因此精密度可适用于透明样品和液体单元应用。